DIY RF Acoplamiento Plasma

Los átomos constan de un núcleo de carga positiva rodeado por una nube de electrones cargados negativamente. A veces, los átomos pueden ganar o perder electrones , lo que los lleva a adquirir una carga positiva o negativa neta . Un átomo con una carga neta se conoce como un ion . El plasma es una nube de iones , y estos pueden tener un número de usos en la industria de procesamiento de semiconductor . Un plasma puede ser producido en el interior de una cámara de vacío lleno de argón mediante el uso de una fuente de alimentación que genera la radiofrecuencia (RF) radiation.Things que necesitará
RF cámara de vacío con argón controlador de flujo másico
bomba Rotary
bomba de Turbo
suministro de potencia RF
red de adaptación RF
2 cables de RF de
Mostrar Más instrucciones Matemáticas 1

Encienda la bomba rotativa y esperar a que la presión de llegar a 10 ^ -3 milibares. Encienda la bomba turbo, y esperar a que la rampa encima . Espere hasta que una presión de aproximadamente 10 ^ -6 milibares se alcanza .
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Conecte el cable RF entre la unidad de acoplamiento de RF y la fuente de alimentación de RF. Conecte otro cable entre la unidad de acoplamiento de radiofrecuencia , y la cámara de vacío RF socket electrodo.
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Cierre parcialmente la válvula a la bomba turbo. Encienda el controlador de flujo de masa de argón , y establecer una presión de 15 milibares. Encienda la fuente de alimentación de RF y la unidad correspondiente. Establecer un alero de poder de 50 Watts. La unidad de acoplamiento se escucha ya que trata de minimizar la potencia RF reflejada. Cuando la potencia reflejada es menor al 1 por ciento de la potencia directa , aumentar la potencia directa a aproximadamente 150 vatios. El plasma dentro de la cámara debe encenderse , y ser visible cuando la cámara de vista - puerto. Reducir lentamente la ala-pívot de nuevo a 50 Watts. Se crea el plasma par RF.